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  • OGS二次强化技术分析
  • [2014-07-11]
  •  二次化学强化制程与问题讨论—前段玻璃来料部分
      如何充份利用化学二次强化,有效率提升产品4pb能力,这牵涉不同前段制程玻璃来料和二次化强制程等因素。因为二次化强本身若蚀刻过久,产品外缘会产生水波纹造成外观不良,若蚀刻不足则裂痕无法消除或减轻,无法达到机械抗压力增加的目的,若是OGS产品蚀刻过久将有边缘BM脱落的问题,因此管控二次化强制程的蚀刻程度是一门重要的课题。
          一般前段制程玻璃来料需要确认的是: (1)强化玻璃本身材质的特性(2)玻璃切割与磨边制程处理的条件 (3)抗酸膜或是抗酸油墨的制程手法与涂布精度。
     (1)强化玻璃本身材质的特性:玻璃材料若强化制程不同或是成份不同,其玻璃抗压性质就会有所区别,举例来说一般钠钙玻璃(Asahi Soda Lime Glass)的4pb数值会比Corning Gorilla玻璃还要低,这是因为Corning Gorilla玻璃为强化玻璃,由EDS分析(如图10)有发现钾离子的成份,而Asahi Soda Lime玻璃没有钾离子层份,此Gorilla 玻璃其钾离子强化层约20~30μm,具有较佳的机械抗压力,换言之,若玻璃本身的离子强化层越厚,就具备较佳的抗4pb能力?!?/div>
           (2)玻璃切割与磨边制程处理的条件:若玻璃切割与磨边制程不佳,会产生许多>100μm以上的延伸性裂痕(crack),若要利用化学二次强化方式修补这样范围的延伸性裂痕,则会产生明显的玻璃边缘水波纹,对于现今OGS产品都走非遮蔽式的??榻岷现瞥?,水波纹没有办法借由??榭蛘诒?,将会有外观不良的问题。而选择较佳的切割方式如调整切割下刀深度、切割角度,或是采用雷射切割方式,找到较佳的切割方向是必须的。另外,切割后的玻璃段面研磨(精雕)也是影响二次强化的主因之一,选择较高番数的砥石去进行磨边,降低延伸性裂痕的程度,将有助于化学二强的修补效果,但过高番数的精雕制程耗时且成本高,亦不具量产性。
           (3)抗酸膜或是抗酸油墨的制程手法与涂布精度:目前化学二次强化业界都采用抗HF的薄膜进行贴附,在OGS制程流程(如图11)为在母基板 (sheet)切割为成品(chip)之后,将抗酸膜贴附在chip上,然后将chip装置在Cassette中入HF蚀刻槽中进行玻璃段面微蚀刻制程,因此,抗酸膜贴覆的精度与气泡是否存在则关系到HF时刻的效果,倘若抗酸膜贴覆精度不佳则会影响OGS玻璃边缘的外观,严重者侵蚀到BM边缘,产品则需进行BM补色制程,降低产能。若是气泡产生则可能侵蚀到OGS上面的金属线路(metal or ITO pattern),产品无法重工需报废处理,若气泡出现在玻璃段面则会遮蔽强化的效果造成凸点,凸点将使OGS产品产生组装不良的问题。近期发展出抗酸油墨制程,其成本低(约1/4的抗酸膜成本),不过技术上仍然有瓶颈存在,包括印刷精度问题和抗酸能力问题需要作提升?!?/div>

    上一个:OGS二次强化(HF)工艺

    下一个:UV膜(UV切割胶带)在晶圆切割使用

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