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  • UV膜(UV切割胶带)在晶圆切割使用
  • [2014-07-18]
  • 晶圆切割(Wafer  Dicing)时UV切割胶带使用
    晶圆切片(wafer dicing)。 
      在过去三十年期间,切片(dicing)系统与刀片(blade)已经不断地改进以对付工艺的挑战和接纳不同类型基板的要求。最新的、对生产率造成最大影响的设备进展包括:使两个切割(two cuts)同时进行的、将超程(overtravel)减到最小的双轴(dual-spindle)切片系统;自动心轴扭力监测和自动冷却剂流量调节能力。重大的切片刀片进步包括一些刀片,它们用于很窄条和/或较高芯片尺寸的晶圆、以铜金属化的晶圆、非常薄的晶圆、和在切片之后要求表面抛光的元件用的晶圆。许多今天要求高的应用都要求设备能力和刀片特性两方面都
    最优化的工艺,以尽可能最低的成本提供尽可能高的效率。
    UV膜(UV切割胶带)在该切割过程中是必不可少的,一定程度上切割工艺的成功与否很程度上取决于UV膜(UV切割胶带)的选择。
    切片机制(The Dicing Mechanism) 
      硅晶圆切片工艺是在“后端”装配工艺中的第一步。该工艺将晶圆分成单个的芯片,用于随后的芯片接合(die bonding)、引线接合
    (wire bonding)和测试工序。 
      一个转动的研磨盘(刀片)完成切片(dicing)。一根心轴以高速,30,000~60,000rpm (83~175m/sec的线性速度)转动刀片。该刀片由
    嵌入电镀镍矩阵黏合剂中的研磨金刚石制成。 
      在芯片的分割期间,刀片碾碎基础材料(晶圆),同时去掉所产生的碎片。材料的去掉沿着晶方(dice)的有源区域之间的专用切割线(迹道)发生的。冷却剂(通常是去离子水)指到切割缝内,改善切割品质,和通过帮助去掉碎片而延长刀片寿命。每条迹道(street)的宽度(切
    口)与刀片的厚度成比例。


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